中科科仪KYKY电子扫描显微镜EM6900

中科科仪KYKY电子扫描显微镜EM6900

详细信息

品牌：中科科仪KYKY	型号：EM6900	加工定制：否
类型：电子	目镜放大倍数：8～300000 倍	物镜放大倍数：8～300000 倍
仪器放大倍数：8～300000 倍	重量：3200 g	适用范围：电池材料、半导体、复合材料、高
装箱数：1套

中科科仪KYKY电子扫描显微镜EM6900

优点
分辨率高、成像质量好
翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝
中英文操作界面，具有一键成像功能
低维护、维修成本

产品特点
具备较高分辨率，满足大多数样品的微观形貌测试
翻开式预对中钨丝阴极，更换灯丝方便
成像效果优良，细节清晰，景深大
样品仓室可多接口扩展，满足诸多原位测试，以及多功能嵌入
中英文菜单，一键切换
自动功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等。
自动校正，自动故障检测

应用领域
电池材料、半导体、复合材料、高分子、动植物、微生物、粉末冶金、矿物、金属行业、建筑材料、化工材料、陶瓷材料。

技术参数
分辨率  3nm@30kV（SE）
样品台  自动样品台
加速电压  0～30kV连续可调
探测器  高真空二次电子探测器、半导体四分割背散射电子探测器、CCD
灯丝   六硼化镧（选配）

电子光学镜筒部分： 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

KYKY-EM6900是一款完全由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的电子光学性能，
清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于 Windows平台，获取图片后可以用
常见的标准格式存储图像，强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他自动功能。

中科科仪KYKY电子扫描显微镜EM6900技术规格

电子光学
电子枪：预对中钨灯丝
分辨率：3nm@30KV （SE）； 6nm@30KV （BSE）
放大倍率：8～300000 倍
加速电压：0～30kV连续可调，0-10kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV
探针电流：0～2000nA
透镜系统：三级锥形电磁透镜系统，一体式屏蔽设计，无漏磁，无辐射泄露
物镜光阑：三个可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑

真空系统
二级全自动真空系统（机械泵＋分子泵）
具备真空互锁功能
主泵为Edwards复合涡轮分子泵
样品仓室真空优于2.6E-3 Pa
抽真空时间：≤ 3 分钟

探测器
高真空二次电子探测器
四分割大面积半导体BSE探测器
红外CCD摄像头

样品室、样品台
样品室提供不少于5个可扩展接口，可接 WDS、EDS、BSE 等多种附件和探测器
样品台配置：五轴全自动样品台
行程：X=70mm,Y=50mm,Z=45mm，R=360°，T=-5°～+90°
*大样品直径Ф175mm5
*大样品高度35mm
样品台有碰撞报警功能

扫描、成像特性
图像显示：可选择全屏显示或分屏显示，可进行多通道成像，分屏上可同时进行不同信号成像
扫描速度：预设四种扫描模式（快扫、中扫、慢扫、选区扫描），扫描速度自由配置，支持感兴趣区域扫描模式
图像存储格式：默认格式为TIF，可另存为BMP、GIF、JPG、PNG
图像处理器：*大像素显示可达4096×4096
图像层次丰富细致，实时显示放大倍数，标尺，加速电压，显示灰度曲线

控制系统
操作系统：Windows10中文版正版系统
图像存储：大容量硬盘或其它存储介质上，或直接打印输出。
计算机配置：主流工作站，配置不低于DELL T3650；I5-11500；16G 1TB+512G SSD DVD RWP2422H
软件控制系统：立体显示图标，通过按键、鼠标或手控盒（选配）自动完成调节操作：电位移调节、多标尺

测量、电对中调节、物镜反转、物镜调节、电旋转调节等
中英文菜单一键切换，低倍率一键成像
自动功能：自动亮度/对比度、自动聚焦、自动消象散、自动灯丝调节

使用环境条件：
温湿度：16～30℃；相对湿度小于70%
电力供应：埋设独立的地线，保证其接地电阻小于5Ω，标准正弦波，无噪音、瞬变、振荡和脉冲
供电：AC 220V（±10%），50Hz（±1%），总功率3000W
独立空开，规格25A；可控制2个16A、不少于2个10A三芯插座
振动：在安装位置上，任何方向的振动都应小于3μm（P-P )
磁场：保证任何方向的磁感应强度都应小于3×10-7T(3毫高斯，P-P)
注：建议安装2楼及以下，并远离地铁、公路、铁路等震源，远离变电设备、高频设备等磁场干扰。

检测图像

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